晶圓檢測 LED型晶圓校準傳感器 HD-T1系列檢測頭HD-T1030
使用安全的LED光確保分辨率30μm下的高精度檢測
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- 基本信息
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- 產品用途
- 可選件
使用安全的LED光確保分辨率30μm下的高精度檢測
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 ※1
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| ※1 | EMC指定適用 |
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特點
無需任何安全措施
使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。無需使用激光時必備的保護罩，在美國使用時不需要符合FDA標準。
施工簡便
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使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時降至最低限度，維護輕松。 |
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低消耗電流70mA以下
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實現光電傳感器同等的低功耗。
高分辨率30μm
雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高性能，因此可實現高精度檢測。
無需光軸調整
投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調整。并且，檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區域，可對應各種不同尺寸的晶圓。
配備系數和偏移量調整功能
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模擬輸出(1～5V)除了系數調整功能之外，還具備方便的偏移調整功能，可在±0.5V的范圍內轉換模擬電壓。 |
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種類
規格
檢測頭
| 型號 | HD-T1030 | |
| 適用控制器 | HD-T1C | |
| 檢測寬度 | 30mm(直線性按照28mm的寬度規定) | |
| 檢測距離 | 30mm(固定)(注2) | |
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環 境 性 能 |
保護構造 | IP40(IEC) |
| 使用環境溫度 | 0～+40℃(注意不可結露)，存儲時：-20～+55℃ | |
| 使用環境濕度 | 35～85%RH、存儲時：35～85%RH | |
| 使用環境照明度 | 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度3,000lx以下 | |
| 耐電壓 | AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 | |
| 絕緣電阻 | 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 | |
| 耐振動 | 頻率10～150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時 | |
| 耐沖擊 | 加速度490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次 | |
| 投光元件 | 紅色LED(投光波峰波長：650nm) | |
| 受光元件 | 光電二極管 | |
| 材質 | 本體外殼：PEI、前罩部：玻璃、安裝基座：鋁 | |
| 電纜 | 耐熱PVC電纜0.5m末端帶連接器 | |
| 重量 | 本體重量：約150g | |
(注1)： 無指定的測量條件為使用環境溫度+20℃。
(注2)： 出廠時固定于安裝基座狀態下的值。
控制器
| 型號 | HD-T1C | |
| 適用檢測頭 | HD-T1030 | |
| 電源電壓 | 24V DC±10% 脈動P-P10%以下 | |
| 消耗電流 | 70mA以下(含檢測頭) | |
| 模擬輸出 |
模擬電壓 ?輸出電壓：1±0.5V(全遮光時)～5±0.5V(全入光時) ?輸出阻抗：75Ω |
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| 反應時間 | 0.5ms以下(8V/ms以上) | |
| 分辨率 | 30μm(注2) | |
| 直線性 | ±1.0%F.S.(檢測位置中心的檢測寬度28mm)(注3) | |
| 溫度特性 | ±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3) | |
| 量程調整功能 | 裝備15圈無限制調節器，可調整模擬輸出電壓的量程 | |
| 轉移調整功能 | 裝備15圈無限制調節器，可調整模擬輸出電壓的偏置 | |
| 預熱時間 | 30分以上 | |
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環 境 性 能 |
保護構造 | IP40(IEC) |
| 使用環境溫度 | 0～＋40℃(注意不可結露)，存儲時：－20～＋70℃ | |
| 使用環境濕度 | 35～85％RH，存儲時：35～85％RH | |
| 耐電壓 | AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 | |
| 絕緣電阻 | 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 | |
| 耐振動 | 頻率10～150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時 | |
| 耐沖擊 | 頻率490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次 | |
| 材質 | 本體外殼：耐熱ABS，連接器外罩部：耐熱ABS，調節器外罩部：聚碳酸酯 | |
| 電纜 | 0.22mm2 3芯耐熱PVC電纜，長0.3m | |
| 電纜延長 | 0.3mm2以上的電纜全長可延長至3m | |
| 重量 | 本體重量：約85g | |
(注1)： 無指定的測量條件為使用環境溫度+20℃。
(注2)： 分辨率為模擬輸出的峰值～峰值距離換算值(20MHz以下帶域)。
(注3)： 檢測頭和控制器組合后測定時的代表示例。
尺寸圖
- 單位mm
HD-T1030
檢測頭
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HD-T1C
控制器
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用途
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